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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究 期刊论文 光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140 作者:  艾万君;  熊胜明 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/21 电子束蒸发  离子束辅助沉积  离子束反应溅射  HfO2薄膜  薄膜特性