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长春光学精密机械与物... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [2]
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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
刘震
;
李旭
;
马月英
;
陈波
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
X射线衍射仪
反射率计
13.5nm软X射线多层膜反射镜制备及性能分析
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2011
作者:
朱亚丹
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提交时间:2016/11/28
软x射线膜
厚度均匀性
变速法
磁控溅射
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