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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能