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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能   基于LIGA技术的光热驱动微开关研究 期刊论文 光学仪器, 2011, 期号: 2, 页码: 33-37 作者:  林星;  赵冬伟;  王波;  伊福廷;  张冬仙 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA  光热驱动  微开关  ANSYS仿真  光热偏转量   利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 期刊论文 电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25 作者:  伊福廷;  李勇;  刘改红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/25 电火花电极  异形阵列电极  大高宽比金属结构  LIGA技术