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偏压和氮分压对TiN膜层结构和膜/基体系性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2009, 期号: 2, 页码: 20-25
杨洪刚; 李曙; 张荣禄
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偏压和氮分压对TiN膜层结构和膜/基体系性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2009, 卷号: 22.0, 期号: 002, 页码: 20-25
作者:  杨洪刚;  李曙;  张荣禄
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2021/02/02
偏压和氮分压对TiN膜层结构和膜/基体系性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2009, 卷号: 22.0, 期号: 002, 页码: 20-25
作者:  杨洪刚;  李曙;  张荣禄
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