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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
厦门大学 [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [3]
学科主题
光学薄膜 [1]
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发表日期:2008
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射频磁控溅射ZnO:Al薄膜及其特性研究
学位论文
2008, 2008
刘著光
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
透明导电氧化物薄膜
AZO薄膜
射频磁控溅射
Transparent Conductive Oxide Thin Films
AZO Thin Films
RF Magnetron Sputtering
ITO薄膜的直流磁控溅射工艺研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
曾维强
收藏
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2016/11/28
透明导电氧化物
ITO薄膜
直流磁控溅射
透射率
电阻率
基底温度对直流磁控溅射ITO透明导电薄膜性能的影响
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2031, 2035
曾维强
;
姚建可
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1254/160
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
ITO透明导电膜
基底温度
直流磁控溅射
Crystal grain sizes
Direct current magnetron sputtering
Direct currents
Glass substrates
Indium oxides
Interplanar spacings
ITO transparent conductive thin films
Mass fractions
Substrate temperature
X-ray diffractions
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