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科研机构
电工研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
红外基础研究 [1]
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发表日期:2008
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人工光子微结构的性质及应用研究
学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
陈洪波
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提交时间:2012/08/22
光子晶体
负折射
光子晶体波导
量子点
高数值孔径光刻中光的传播与成像研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1周远,电工研究所
收藏
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浏览/下载:72/0
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提交时间:2010/10/18
高数值光刻
矢量成像
偏振
TARC
BARC
体效应
干涉光刻 High numerical aperture lithography
Vector imaging
Polarization
TARC
BARC
Bulk effects
Interference lithography
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