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上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2008 [5]
学科主题
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Physics, A... [1]
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发表日期:2008
专题:上海微系统与信息技术研究所
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一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
期刊论文
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤
;
林友玲
;
车录锋
;
李玉芳
;
熊斌
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
微机械探卡
芯片测试
悬臂梁
接触电阻
采用两级检测的MIMO OFDM空频变换方案
期刊论文
应用科学学报, 2008, 期号: 05
周霁婷
;
杨秀梅
;
熊勇
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/06
悬臂梁
插入损耗
隔离度
ANSYS软件
阈值电压
Lasing cavities and ultra-fast switch based on self-collimation of photonic crystal
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2008, 卷号: 41, 期号: 11, 页码: 115108-115108
Zhao, DY
;
Zhou, CH
;
Gong, Q
;
Jiang, XY
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
WAVE-GUIDES
BENDS
BEAMS
Resonance-mode effect on microcantilever mass-sensing performance in air
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 7, 页码: 74301-74301
Xia, XY
;
Li, XX
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2011/12/17
DAMPING CHARACTERISTICS
CANTILEVERS
RESONATORS
OSCILLATORS
PRESSURE
VACUUM
A heater-integrated scanning probe microscopy probe array with different tip radii for study of micro-nanosize effects on silicon-tip/polymer-film friction
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 3, 页码: 33701-33701
Bao, HF
;
Li, XX
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
ATOMIC-FORCE MICROSCOPE
GLASS-TRANSITION TEMPERATURE
POLYMER-FILMS
POLY(METHYL METHACRYLATE)
CANTILEVERS
THICKNESS
DYNAMICS
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