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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 离子束增强沉积技术在薄膜制备中的应用研究 会议论文 中国化工学会2008年化工机械年会, 2008 门传玲; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 非晶态铝-氮薄膜 薄膜制备 离子束增强沉积 薄膜生长