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三维多芯片封装模块和制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101159259, 申请日期: 2008-04-09, 公开日期: 2008-04-09
吴燕红; 徐高卫; 罗乐
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一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林
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微机械加速度计器件的圆片级封装工艺 成果
鉴定: 无, 2008
张鲲; 王跃林; 李昕欣; 杨恒
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