QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2008    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于电子束曝光技术的三维微结构研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2008 1宋志,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  微细加工  三维微结构  曝光工艺  软件系统 Electron beam lithography  Micro-Nanofabrication  Three-dimensional microstructures  Lithography process  Software system   基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测 学位论文 2008, 2008 郭强 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/02/14 接触式电容压力传感器  有限元分析  微机电系统  微电容检测电路  TMCPS  FEA  MEMS  Micro-Capacitance Test Circuits   用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用 学位论文 2008, 2008 张力 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/02/14 约束刻蚀剂层技术  电化学湿印章技术  半导体  金属  微光学元件  细胞阵列  Confined Etchant Layer Technique  Electrochemical wet-stamping method  semiconductor  microlens array  cell patterning   基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 曾凡林   收藏  |  浏览/下载：187/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  光纤加速度计  双光纤准直器  敏感芯片  噪声     自呼吸式硅微机械微质子交换膜燃料电池关键技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 郑丹 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/06 微型  质子交换膜燃料电池  自呼吸  MEMS  集成式多孔硅基电极