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科研机构
厦门大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2008 [2]
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发表日期:2008
内容类型:学位论文
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射频磁控溅射ZnO:Al薄膜及其特性研究
学位论文
2008, 2008
刘著光
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
透明导电氧化物薄膜
AZO薄膜
射频磁控溅射
Transparent Conductive Oxide Thin Films
AZO Thin Films
RF Magnetron Sputtering
ITO薄膜的直流磁控溅射工艺研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
曾维强
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2016/11/28
透明导电氧化物
ITO薄膜
直流磁控溅射
透射率
电阻率
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