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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
半导体物理 [2]
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发表日期:2008
学科主题:半导体物理
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Structural and electrical properties of (110) ZnO epitaxial thin films on (001) SrTiO3 substrates
期刊论文
solid state communications, 2008, 卷号: 148, 期号: 39939, 页码: 247-250
Wu, YL
;
Zhang, LW
;
Xie, GL
;
Ni, J
;
Chen, YH
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提交时间:2010/03/08
ZnO thin films
Pulsed laser deposition
Electrical resistance
Doped polycrystalline 3C-SiC films deposited by LPCVD for radio-frequency MEMS applications
期刊论文
chinese physics letters, 2008, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 2269-2272
Zhao, YM
;
Sun, GS
;
Ning, J
;
Liu, XF
;
Zhao, WS
;
Wang, L
;
Li, JM
收藏
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提交时间:2010/03/08
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
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