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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [3]
学科主题
光学薄膜 [3]
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发表日期:2008
学科主题:光学薄膜
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真空紫外光学薄膜及薄膜材料
期刊论文
激光与光电子学进展, 2008, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 57, 64
薛春荣
;
范正修
;
邵建达
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提交时间:2009/09/22
基于平板夹具的电子束蒸发沉积薄膜中的挖坑效应分析
期刊论文
真空, 2008, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 12, 16
夏志林
;
赵元安
;
黄才华
;
薛亦渝
;
杨芳芳
;
郭培涛
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浏览/下载:1221/186
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提交时间:2009/09/22
电子束蒸发镀膜速率控制
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1591, 1594
王善成
;
方明
;
易葵
;
邵淑英
;
范正修
收藏
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浏览/下载:907/192
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提交时间:2009/09/22
薄膜
薄膜工艺
速率控制
比列积分微分控制
Basic principles
Closed-loop controls
Control parameters
Evaporation characteristics
Film process
Improved processes
Proportion integral differential
Rate control
Rate controls
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