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长春光学精密机械与物... [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2007 [3]
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发表日期:2007
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基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究
期刊论文
中央民族大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 4
王志娟
;
郑玉彤
;
汤建华
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提交时间:2012/09/25
激光调阻
调阻精度
激光刻蚀路径
有限元
激光调阻预置式变速光刻控制
期刊论文
光机电信息, 2007, 期号: 1
孙继凤
;
汤建华
收藏
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浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/09/25
激光调阻
预置式控制
变速控制
调阻速度
调阻精度
激光调阻光刻定量分析与控制研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院, 2007
孙继凤
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提交时间:2012/09/29
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