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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS的无阀泵研究进展 期刊论文 微细加工技术, 2007, 期号: 4 白兰; 冯志庆; 吴一辉 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/09/25 MEMS  微型无阀泵  扩张管/收缩管   基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器 期刊论文 光学精密工程, 2007, 期号: 6 吴一辉 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/09/25 电磁驱动无阀微泵结构及其MEMS制作工艺技术研究 学位论文 博士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007 张涛 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/21 微型电磁驱动器  无阀微泵  微制作工艺  NiFe磁芯  集成磁弹性PDMS振动膜