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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2007 [1]
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发表日期:2007
内容类型:会议论文
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注硅工艺对UNIBOND SOI材料抗辐照性能的影响
会议论文
第六届中国功能材料及其应用学术会议, 2007
武爱民
;
陈静
;
张恩霞
;
杨慧
;
张正选
;
王曦
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/18
SOI材料 注硅工艺 智能剥离 硅离子注入 纳米晶 改性处理 抗辐照性能
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