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氧化对SOI基SiGe薄膜残余应变弛豫的影响 期刊论文
半导体学报, 2006, 期号: 01
金波; 王曦; 陈静; 张峰; 程新利; 陈志君
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高浓度弛豫SiGe/SOI材料的制备研究 期刊论文
苏州科技学院学报, 2006, 期号: 01
程新利; 张峰
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