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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [2]
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发表日期:2006
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氧化对SOI基SiGe薄膜残余应变弛豫的影响
期刊论文
半导体学报, 2006, 期号: 01
金波
;
王曦
;
陈静
;
张峰
;
程新利
;
陈志君
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提交时间:2012/01/06
可重配平台
Tcl/Tk
SPARCV8架构
星载计算机内核
高浓度弛豫SiGe/SOI材料的制备研究
期刊论文
苏州科技学院学报, 2006, 期号: 01
程新利
;
张峰
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/01/06
金属材料
TiN
MOCVD
等离子体处理
薄膜电阻
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