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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2006    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An improved 3D simulator for MEMS processes 其他 2006-01-01 Tan, Yiyong; Li, Zhihong; Wang, Lei; Lu, Guizhang; Zha, Xin 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 MEMS  process  3D simulator  ICP  3-DIMENSIONAL TOPOGRAPHY SIMULATION  LITHOGRAPHY  ALGORITHMS   PECVD SiC as a chemical resistant material in MEMS 其他 2006-01-01 Guo, Hui; Wang, Yu; Chen, Sheng; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 PECVD  SiC  etch mask  device protection  MEMS