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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2006    内容类型：专利    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1731567, 申请日期: 2006-02-08, 公开日期: 2006-02-08 张楷亮; 宋志棠; 封松林; 陈邦明 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06