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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2005    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种硅基集成PCR微芯片的传热数值分析 期刊论文 功能材料与器件学报, 2005, 期号: 04 陈飞; 邹志清; 周洪波; 金庆辉; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 ta-C薄膜  真空磁过滤弧源沉积  SOI  电绝缘性能