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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2005    学科主题：材料科学与物理化学    专题：兰州化学物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The effects of negative bias and flux ratio on the properties of TiN thin films formed by filtered cathodic arc plasma technique 期刊论文 Acta metallurgica sinica, 2005, 卷号: 18, 期号: 3, 页码: 369-374 作者:  Xue QJ(薛群基) 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2014/03/03 TiN  filtered cathodic arc plasma  preferred orientation