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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2003    专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微电子机械系统及硅微机械加工工艺 期刊论文 2003 洪永强; 蒋红霞 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2011/04/26 微电子机械系统  体微加工  表面微加工  LIGA  MEMS  Bulk micromachining  Surface micromachining