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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2001    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 期刊论文 thin solid films, 2001, 卷号: 395, 期号: 1-2, 页码: 213-216 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |  浏览/下载：162/11  |  提交时间：2010/08/12 poly-Si  structure  hot-wire  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  MICROCRYSTALLINE SILICON  HYDROGEN   Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文 1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/11/15 poly-Si  structure  hot-wire  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  MICROCRYSTALLINE SILICON  HYDROGEN