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半導体の成長方法 专利
专利号: JP1998144612A, 申请日期: 1998-05-29, 公开日期: 1998-05-29
作者:  河合 弘治;  池田 昌夫;  中村 文彦;  橋本 茂樹;  朝妻 庸紀
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