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科研机构
力学研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1984 [1]
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发表日期:1984
专题:力学研究所
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硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性
期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
作者:
李元恒
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浏览/下载:1004/160
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提交时间:2009/08/03
薄层电阻
电激活
扩散杂质
扩硼
激光辐照
辐照后
固溶度极限
CO_2激光
面密度
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