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共9条，第1-9条
上海微系统与信息技术研究所 14 物理研究所 4 清华大学 3
微电子研究所 3 长春应用化学研究所 3 北京大学 1
兰州理工大学 1 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1 中南大学 1

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