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共14条，第1-14条
金属研究所 62 物理研究所 33 山东大学 9
半导体研究所 8 厦门大学 5 西安交通大学 4
大连理工大学 3 四川大学 2 北京大学 1
大连化学物理研究所 1 上海微系统与信息技术研究所 1 中南大学 1
天津大学 1 中国地质调查局 1

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