CORC
当前检索式 ((ALL:electron beam lithography))
限定条件
共38条,第1-38条
半导体研究所 58 物理研究所 37 上海微系统与信息技术研究所 28
北京大学 27 电工研究所 15 西安光学精密机械研究所 15
清华大学 12 微电子研究所 12 湖南大学 12
上海光学精密机械研究所 12 西安交通大学 10 长春光学精密机械与物理研究所 8
光电技术研究所 8 上海应用物理研究所 8 山东大学 6
厦门大学 5 兰州理工大学 5 兰州大学 5
苏州纳米技术与纳米仿生研究所 5 化学研究所 5 上海电子信息职业技术学院 5
金属研究所 4 高能物理研究所 4 长春应用化学研究所 4
北京航空航天大学 3 中国科学院大学 3 重庆绿色智能技术研究院 3
四川大学 2 沈阳自动化研究所 2 合肥物质科学研究院 2
苏州生物医学工程技术研究所 1 大连理工大学 1 宁波材料技术与工程研究所 1
上海大学 1 安徽大学 1 天津大学 1
西安理工大学 1 上海硅酸盐研究所 1

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