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半导体研究所 47 北京大学 23 西安光学精密机械研究所 12
长春光学精密机械与物理研究所 5 山东大学 2 清华大学 1
西安交通大学 1 北京航空航天大学 1 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1
安徽大学 1 重庆绿色智能技术研究院 1 西安理工大学 1
上海光学精密机械研究所 1

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