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共15条，第1-15条
半导体研究所 16 中国科学院大学 9 物理研究所 7
北京大学 3 上海微系统与信息技术研究所 3 清华大学 2
西安交通大学 2 大连化学物理研究所 2 力学研究所 1
金属研究所 1 化学研究所 1 武汉物理与数学研究所 1
合肥物质科学研究院 1 长春应用化学研究所 1 兰州化学物理研究所 1

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