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共20条，第1-20条
山东大学 84 兰州理工大学 55 大连理工大学 21
清华大学 9 天津大学 8 西安交通大学 7
半导体研究所 7 中国石油大学（北京） 6 金属研究所 5
北京工业大学 4 北京航空航天大学 4 上海微系统与信息技术研究所 3
江苏大学 2 重庆绿色智能技术研究院 2 力学研究所 1
南华大学 1 中南大学 1 武汉大学 1
合肥物质科学研究院 1 西安光学精密机械研究所 1

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