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半导体研究所 40 北京大学 15 山东大学 6
大连理工大学 4 微电子研究所 3 上海微系统与信息技术研究所 3
上海光学精密机械研究所 3 武汉轻工大学 2 西安光学精密机械研究所 2
长春光学精密机械与物理研究所 1 高能物理研究所 1

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