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山东大学 83 物理研究所 27 上海微系统与信息技术研究所 13
半导体研究所 12 兰州大学 10 厦门大学 8
清华大学 5 宁波材料技术与工程研究所 4 北京航空航天大学 3
长春光学精密机械与物理研究所 3 沈阳自动化研究所 3 上海大学 2
上海应用物理研究所 1 华南理工大学 1 长春应用化学研究所 1

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