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西安光学精密机械研究所 1163 半导体研究所 158 上海微系统与信息技术研究所 81
厦门大学 7 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 7 金属研究所 4
微电子研究所 4 长春光学精密机械与物理研究所 3 山东大学 3
武汉大学 3 清华大学 2 大连理工大学 2
兰州大学 2 上海光学精密机械研究所 2 力学研究所 1
北京大学 1 兰州理工大学 1 南开大学 1
上海大学 1

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