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上海微系统与信息技术研究所 12 上海技术物理研究所 8 西安光学精密机械研究所 7
半导体研究所 5 清华大学 3 厦门大学 3
微电子研究所 3 上海光学精密机械研究所 3 西安交通大学 2
山东大学 2 长春光学精密机械与物理研究所 1

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