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山东师范大学 14 大连理工大学 11 上海微系统与信息技术研究所 8
清华大学 6 上海光学精密机械研究所 6 金属研究所 5
武汉大学 5 贵州大学 5 西安交通大学 4
四川大学 4 半导体研究所 4 合肥物质科学研究院 4
长春光学精密机械与物理研究所 3 山东大学 3 兰州化学物理研究所 3
上海大学 2 河南大学 2 北京工业大学 1
深圳大学 1 物理研究所 1 华南理工大学 1
河北大学 1 西安理工大学 1 西安光学精密机械研究所 1

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