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微电子研究所 17 上海微系统与信息技术研究所 13 新疆理化技术研究所 5
上海光学精密机械研究所 5 北京大学 4 长春光学精密机械与物理研究所 3
兰州理工大学 2 半导体研究所 2 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1
西安理工大学 1 沈阳自动化研究所 1 合肥物质科学研究院 1

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