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共19条，第1-19条
半导体研究所 57 长春光学精密机械与物理研究所 25 清华大学 21
上海光学精密机械研究所 7 北京大学 5 上海微系统与信息技术研究所 4
厦门大学 3 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 3 西安光学精密机械研究所 3
武汉物理与数学研究所 2 上海大学 2 合肥物质科学研究院 2
物理研究所 1 大连理工大学 1 光电技术研究所 1
四川大学 1 山东大学 1 上海电子信息职业技术学院 1
长春应用化学研究所 1

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