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共9条，第1-9条
集成电路装备 3 G02b7/00 1 光电子学 1
半导体器件 1 半导体材料 1 材料科学与物理化学 1
水体污染治理 1 环境材料与生态化学 1 转基因生物新品种培育 1

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