用双计算全息图检测凹非球面

	用双计算全息图检测凹非球面
	谢意 ; 陈强 ; 伍凡 ; 侯溪 ; 张晶 ; 吴高峰
刊名	光学学报
	2008
卷号	28 期号:7 页码:1313-1317
ISSN号	0253-2239
中文摘要	为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ。通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06λ。为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062λ)比较,结果二者吻合良好。
学科主题	先进光学加工与检测技术
收录类别	Ei
语种	中文
公开日期	2015-12-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2099]
专题	光电技术研究所_先光中心
推荐引用方式 GB/T 7714	谢意,陈强,伍凡,等. 用双计算全息图检测凹非球面[J]. 光学学报,2008,28(7):1313-1317.
APA	谢意,陈强,伍凡,侯溪,张晶,&吴高峰.(2008).用双计算全息图检测凹非球面.光学学报,28(7),1313-1317.
MLA	谢意,et al."用双计算全息图检测凹非球面".光学学报 28.7(2008):1313-1317.