凹非球面检测的双计算全息图设计及制作

	凹非球面检测的双计算全息图设计及制作
	谢意 ; 陈强 ; 伍凡
刊名	光电工程
	2008
卷号	35 期号:6 页码:59-62
ISSN号	1003-501X
中文摘要	基于全息补偿检验非球面的原理,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。该全息图由主全息和对准全息两部分组成,用于检测非球面的主全息位于基底的中心,而对准全息位于其边缘,用来精确定位主全息,从而消除离焦、偏心及倾斜所引入的误差。两部分全息同心是实现对主全息准确定位的前提,为此,提出了"一次曝光,两次刻蚀"的制作方法,即一次性将两部分图形在同一块掩膜版上制作出,曝光一次后,基底经两次刻蚀制作出具有两种不同相位深度的双计算全息图。最后给出了一个检测Φ140、F2抛物面镜的双计算全息设计实例,并将其检测结果与自准直检测结果比较,二者吻合良好,验证了该设计方法的正确性及制作工艺的可行性。
学科主题	先进光学加工与检测技术
收录类别	Ei
语种	中文
公开日期	2015-12-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2098]
专题	光电技术研究所_先光中心
推荐引用方式 GB/T 7714	谢意,陈强,伍凡. 凹非球面检测的双计算全息图设计及制作[J]. 光电工程,2008,35(6):59-62.
APA	谢意,陈强,&伍凡.(2008).凹非球面检测的双计算全息图设计及制作.光电工程,35(6),59-62.
MLA	谢意,et al."凹非球面检测的双计算全息图设计及制作".光电工程 35.6(2008):59-62.