用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件

	用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件
	邓启凌 ; 杜春雷 ; 王长涛 ; 邱传凯 ; 潘丽 ; 董小春
刊名	光子学报
	2005
卷号	34 期号:Z1 页码:125-128
通讯作者	邓启凌
收录类别	其他
语种	中文
公开日期	2015-12-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1357]
专题	光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）
推荐引用方式 GB/T 7714	邓启凌,杜春雷,王长涛,等. 用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件[J]. 光子学报,2005,34(Z1):125-128.
APA	邓启凌,杜春雷,王长涛,邱传凯,潘丽,&董小春.(2005).用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件.光子学报,34(Z1),125-128.
MLA	邓启凌,et al."用移动掩模及半色调掩模技术制作连续表面微光学元件".光子学报 34.Z1(2005):125-128.