热蒸发YbF_3薄膜的机械特性

	热蒸发YbF_3薄膜的机械特性
	张殷华 ; 黄伟 ; 张云洞
刊名	强激光与粒子束
	2008
卷号	20 期号:8 页码:1306-1308
ISSN号	1001-4322
中文摘要	实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力。利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力。结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程。热处理后,YbF3薄膜应力增大。
学科主题	光学薄膜技术
收录类别	Ei
语种	中文
公开日期	2015-12-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2088]
专题	光电技术研究所_薄膜光学技术研究室（十一室）
推荐引用方式 GB/T 7714	张殷华,黄伟,张云洞. 热蒸发YbF_3薄膜的机械特性[J]. 强激光与粒子束,2008,20(8):1306-1308.
APA	张殷华,黄伟,&张云洞.(2008).热蒸发YbF_3薄膜的机械特性.强激光与粒子束,20(8),1306-1308.
MLA	张殷华,et al."热蒸发YbF_3薄膜的机械特性".强激光与粒子束 20.8(2008):1306-1308.