题名 | 新型衬底氮化物LED外延及发光机制的研究 |
作者 | 安平博 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2015-11-30 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 李晋闽 |
关键词 | 非晶玻璃衬底 GaN AlN 石墨烯 选区生长 溅射 生长机制 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科主题 | 半导体材料 |
公开日期 | 2015-12-02 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26619] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 安平博. 新型衬底氮化物LED外延及发光机制的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
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