题名 | 高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 |
作者 | 罗振宇 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2015-05-18 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 陈德勇 |
关键词 | 谐振式 压力传感器 品质因数 圆片级真空封装 阳极键合 吸气剂 TGV 低应力组装 差频检测 温度补偿 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
学科主题 | 真空电子技术 ; 传感器 ; Sensor ; Vacuum |
公开日期 | 2015-06-05 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10609] ![]() |
专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗振宇. 高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2015. |
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