| 题名 | 硅基III-V族横向纳米线晶体管的工艺研究 |
| 作者 | 洪文婷 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2015-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 韩伟华 |
| 关键词 | 硅基叉指结构图形衬底+III-V族纳米线+选区横向生长+费米能级钉扎效应+界面态密度 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2015-06-02 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26548]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪文婷. 硅基III-V族横向纳米线晶体管的工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论