离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析

	离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析
	吴娜
刊名	长春工业大学学报(自然科学版)
	2014-12-15
期号	6 页码:628-632
关键词	衍射效率刻蚀模拟全息光栅
中文摘要	依据特征曲线法推导出非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程;结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序。模拟程序获得的模拟刻蚀参数可以用于类矩形光栅的刻蚀工艺参数设计,准确地描述不同工艺过程、工艺参数对最终刻蚀结果的影响,进而实现离子束刻蚀过程的可控性和可预知性。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43633]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴娜. 离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):628-632.
APA	吴娜.(2014).离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析.长春工业大学学报(自然科学版)(6),628-632.
MLA	吴娜."离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):628-632.