利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

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	利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形
	王孝坤
刊名	红外与激光工程
	2014-10-25
期号	10 页码:3410-3415
关键词	面形检测大口径非球面三坐标测量仪子孔径拼接测试
中文摘要	为了利用三坐标测量仪实现对大口径非球面面形的检测,提出了大口径非球面面形三坐标拼接测试方法。对该方法的基本原理与具体的实现流程进行了分析和研究,并基于初级像差理论和最小二乘拟合建立了三坐标拼接检验大口径非球面综合优化数学模型。结合实例,对一口径为1 200 mm×434 mm的长条形SiC离轴非球面反射镜进行了两个子孔径的三坐标拼接检测,并将拼接测试结果与非球面全口径轮廓检测结果进行了比对,其PV值和RMS值的偏差分别仅为0.073μm和0.042μm;两种方法面形残差的PV值和RMS值分别为0.325μm和0.055μm。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43509]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王孝坤. 利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形[J]. 红外与激光工程,2014(10):3410-3415.
APA	王孝坤.(2014).利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形.红外与激光工程(10),3410-3415.
MLA	王孝坤."利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形".红外与激光工程 .10(2014):3410-3415.