用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作

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	用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作
	赵龙波 ; 张志宇 ; 朱德燕 ; 王延超 ; 郑立功 ; 张学军
刊名	激光与光电子学进展
	2014-11-10
期号	11 页码:128-134
关键词	全息衍射光学元件制作线宽非球面检验
中文摘要	为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43467]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	赵龙波,张志宇,朱德燕,等. 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作[J]. 激光与光电子学进展,2014(11):128-134.
APA	赵龙波,张志宇,朱德燕,王延超,郑立功,&张学军.(2014).用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作.激光与光电子学进展(11),128-134.
MLA	赵龙波,et al."用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作".激光与光电子学进展 .11(2014):128-134.